毛刷用于TFT-LCD的清洗工藝

?????? 在TFT-LCD生產(chǎn)過程中，其基板表面殘留很多細(xì)碎的顆粒，如有玻璃碎屑，灰塵，微小有機(jī)物或纖維等，如果不能及時(shí)有效地清除這些顆粒，后果將非常嚴(yán)重，將會(huì)產(chǎn)生如金屬層之間短路，大面積脫落或者殘留等各種不良現(xiàn)象，從而影響產(chǎn)品的各種電學(xué)性能。所以，TFT-LCD生產(chǎn)過程中清洗工藝是極其重要的一個(gè)環(huán)節(jié)。毛刷的作用便顯現(xiàn)出來了。

???? 目前，TFT-LCD的清洗工藝中，一般采用的清洗方法有超紫外清洗，毛刷滾刷清洗，泡沫噴射及純凈水噴射清洗等。

???? 其中毛刷滾清洗法對(duì)于粒徑大于3μm的顆粒的清洗效果很好，毛刷通過緊貼玻璃基板表面高速旋轉(zhuǎn)，可以有效去除粘附或者沉積在金屬和非金屬膜層的大顆粒。因此毛刷質(zhì)量的關(guān)鍵將影響玻璃基板的洗凈率，一般選用雙鋼帶螺旋纏繞式毛刷，刷毛密度要高，這樣才能提高洗凈率。